特許
J-GLOBAL ID：201103049578269897
発熱量算出式作成システム、発熱量算出式の作成方法、発熱量測定システム、及び発熱量の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-069583
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203050
出願日： 2010年03月25日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】ガスの発熱量を容易に測定可能な発熱量測定システムを提供する。【解決手段】 発熱量が未知の計測対象混合ガスが注入されるチャンバ101と、チャンバ101に配置された発熱素子を含むマイクロチップ8と、発熱素子の温度が雰囲気温度と近似する場合の発熱素子の抵抗値と、発熱素子の温度が雰囲気温度より高い場合の発熱素子の抵抗値と、に基づいて発熱素子の抵抗値のドリフトを補正し、発熱素子の複数の発熱温度に対する計測対象混合ガスの放熱係数の値を計測する計測機構10と、複数の発熱温度に対する放熱係数を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する式記憶装置402と、発熱量算出式の放熱係数の独立変数に計測対象混合ガスの放熱係数の値を代入し、計測対象混合ガスの発熱量の値を算出する発熱量算出モジュール305と、を備える発熱量測定システムを提供する。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
複数の混合ガスが注入される容器と、
前記容器に配置された発熱素子と、
前記発熱素子の温度が雰囲気温度と近似する場合の前記発熱素子の抵抗値と、前記発熱素子の温度が前記雰囲気温度より高い場合の前記発熱素子の抵抗値と、の比に基づいて前記発熱素子の抵抗値のドリフトを補正し、前記発熱素子の複数の発熱温度に対する前記複数の混合ガスのそれぞれの放熱係数の値を計測する計測機構と、
前記複数の混合ガスの既知の発熱量の値と、前記発熱素子の複数の発熱温度に対して計測された前記放熱係数の値と、に基づいて、前記複数の発熱温度に対する放熱係数を独立変数とし、前記発熱量を従属変数とする発熱量算出式を作成する式作成モジュールと、
を備える、発熱量算出式作成システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2G040AA02
, 2G040AB01
, 2G040BA23
, 2G040CA01
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040DA02
, 2G040DA12
, 2G040EA02
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
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