特許

J-GLOBAL ID：201103050447191718

分解能向上技術の適用に優先順位を付ける方法及び装置

発明者： ラコアー,パトリック ジョーゼフ
出願人/特許権者： メンター・グラフィクス・コーポレーション
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-584091
特許番号：特許第4074816号
出願日： 2001年07月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 リソグラフィマスクの分解能を向上させるため散乱用バーを利用する方法であって、 リソグラフィマスク設計のパターン内で散乱用バーの追加が有用であるエッジを自動決定する手順と、 上記エッジに対する散乱用バーの配置を自動決定する手順と、 2つ以上の散乱用バーが干渉するか否かを自動決定する手順と、 干渉する各散乱用バーに対し、該散乱用バーの、該散乱用バーを生成したマスク設計のエッジに対する位置のみによって決まる優先順位値を自動決定する手順と、 優先順位の高い散乱用バーとの干渉を排除するため、優先順位の低い干渉する散乱用バーを自動変更する手順と、 を有する方法。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 1/08 A ,  H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光用マスクパターンの補助パターン自動発生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-110797   出願人：日本電気株式会社
• フォトマスク・レイアウトにサブレゾルーション・アシスト・フィーチャを組み込む方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-189032   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Optimizing Style Options for Sub-resolution Assist features