特許
J-GLOBAL ID：201103050470814064
液晶パネル製造用の基板貼り合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060668
特許番号：特許第3022879号
出願日： 1999年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液晶パネルを構成し且つ表面側に第1位置合わせマークを有する透光性の第1基板と表面側に第2位置合わせマークを有する透光性の第2基板とを、互いに表面どうしが対向するように平行に配置し該表面どうしの間に間隔を維持し、基板面内方向に関して位置決めして、貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記第1基板の裏面側に当接しこれを保持する第1定盤と前記第2基板の裏面側に当接しこれを保持する第2定盤とが対向配置されており、前記第1定盤には前記第1位置合わせマークを前記第1基板の裏面側から撮像する第1カメラが付設されており、前記第2定盤には前記第2位置合わせマークを前記第2基板の裏面側から撮像する第2カメラが付設されており、前記第1位置合わせマークを前記第1基板の裏面側から照明する第1の光源と前記第2位置合わせマークを前記第2基板の裏面側から照明する第2の光源とを備えており、前記第1定盤及び前記第2定盤うちの少なくとも一方を移動させることによりこれら第1定盤と第2定盤との基板面内の相対位置関係を変化させるための第1の定盤移動機構と、前記第1定盤及び前記第2定盤のうちの少なくとも一方を移動させることによりこれら第1定盤と第2定盤との基板面と垂直の方向の相対位置関係を変化させるための第2の定盤移動機構とを備えており、前記第1カメラにより撮像された前記第1位置合わせマークの画像及び前記第2カメラにより撮像された前記第2位置合わせマークの画像に基づき前記第1位置合わせマークと前記第2位置合わせマークとの基板面内のマーク相対的位置ずれの値を検知する位置合わせマーク相対位置認識手段とを備えており、前記マーク相対的位置ずれの値に基づき、前記第1基板と第2基板との基板面内の位置ずれを解消すべく前記第1の定盤移動機構により前記第1定盤と第2定盤との基板面内の相対位置関係を変化させ、前記第2の定盤移動機構により前記第1定盤と第2定盤とを互いに接近させて前記第1基板と第2基板とをこれらの間に配置した接着剤により貼り合わせるようにしてなる、ことを特徴とする、液晶パネル製造用の基板貼り合わせ装置。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
