反射板およびその形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013310
特許番号：特許第3293595号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】結晶性を有する基板表面上に谷型形状が連続的に存在し、前記基板の結晶の特定の面方位に沿った前記谷型形状の斜面は前記基板表面に対しある特定の角度をなし、前記谷型形状が複数種類の異なる大きさを有し、前記谷型形状の間隔が複数種類の異なる大きさを有し、前記異なる大きさの谷型形状および間隔の分布の様式が異なる複数の領域が存在することを特徴とする反射板。

IPC (3件)：