特許
J-GLOBAL ID:201103051341330120
模擬測温板及び縦型加熱炉用温度測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北條 和由
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-275823
公開番号(公開出願番号):特開2001-099719
特許番号:特許第3330570号
出願日: 1999年09月29日
公開日(公表日): 2001年04月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 板状の加熱物(28)に代えて加熱炉内に装填され、加熱物(28)の温度を模擬的に測定する模擬測温板であって、高温下で熱電対(32)とは化学反応しない測温板(14)と、この測温板(14)に設けた穴(31)または溝(35)により測温板(14)の内部に取り付けられ、且つ測温点(36)を測温板(14)の内部に埋設した熱電対(32)と、測温板(14)の放射方向の熱流量を加熱物(28)と近似させるため測温板(14)に設けた穴(34)、(38)、(39)または溝(37)を有することを特徴とする模擬測温板。
IPC (6件):
G01K 1/16
, F27B 5/18
, F27D 21/00
, G01K 7/02
, H01L 21/22 501
, H01L 21/22 511
FI (6件):
G01K 1/16
, F27B 5/18
, F27D 21/00 G
, G01K 7/02 E
, H01L 21/22 501 N
, H01L 21/22 511 Q
引用特許: