パターン修正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 吉田博由 , 伊藤英彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109517
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299059
特許番号：特許第3781580号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に形成されたリブの欠陥部を修正するためのパターン修正装置であって、前記基板がその上に載置されて水平方向に移動するテーブルと、前記リブの一部が欠けたリブ欠け欠陥部に修正ペーストをはみ出る程度に塗布する針と、前記針を上下方向に移動可能な駆動機構と、前記塗布した修正ペーストのうちの前記リブの幅方向にはみ出た余分な修正ペーストを切除するためのレーザ照射機構と、前記リブの幅方向にはみ出た余分な修正ペーストを除去するためのスクラッチ針機構とを備えた、パターン修正装置。

IPC (2件)：