マイクロポンプ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-251502
公開番号（公開出願番号）：特開2003-074475
特許番号：特許第3942388号
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも1つのポンプ部を備えてなり、圧力の働きによって流体を送り得るマイクロポンプであって、前記ポンプ部は、ポンプユニットから構成され、前記ポンプユニットは、圧力の変動を起こす少なくとも1つのアクチュエータ部と、流体が流れる流路部と、から構成され、前記アクチュエータ部は、連通板上に、圧電/電歪体又は反強誘電体からなる2つの側壁を配列し、前記2つの側壁の間のスリット(A)を、前記連通板と、前記連通板と対向させた蓋板と、で塞いでセルを形成してなり、前記側壁が伸縮して生じる前記セルの変位を通じて、前記流路部に圧力の変動を生じせしめ、流体の流路を選択的に形成し得るものであることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (6件)：

F04B 43/04 ( 200 6.01) , B81B 3/00 ( 200 6.01) , B81C 3/00 ( 200 6.01) , F04B 9/00 ( 200 6.01) , F04B 13/00 ( 200 6.01) , H01L 41/09 ( 200 6.01)

FI (6件)：

F04B 43/04 B , B81B 3/00 , B81C 3/00 , F04B 9/00 B , F04B 13/00 B , H01L 41/08 U

引用特許：

出願人引用 (5件)

ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-069301 出願人：日本碍子株式会社
マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-072270 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
微量吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-242398 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (5件)

ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-069301 出願人：日本碍子株式会社
マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-072270 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
微量吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-242398 出願人：株式会社日立製作所

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