特許

J-GLOBAL ID：201103052885485999

放射線測定装置

発明者： 上畠 一晃 ,  市沢 康史 ,  大日方 祐彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-034289
公開番号（公開出願番号）：特開2011-169777
出願日： 2010年02月19日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】試料3の幅方向位置の測定精度を向上させ、試料測定範囲(厚さの範囲や材質など)の広範囲化を図った放射線測定装置を提供する。【解決手段】被測定物(試料)を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定物(試料)を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成したことを特徴とする放射線測定装置。

IPC (2件)：

G01N 23/16 ,  H05G 1/26

FI (2件)：

G01N23/16 ,  H05G1/26 T

Fターム (29件)：

2G001AA01 ,  2G001AA02 ,  2G001AA03 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001CA02 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001DA08 ,  2G001FA01 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA19 ,  2G001JA02 ,  2G001JA09 ,  2G001KA12 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  4C092AA01 ,  4C092AB19 ,  4C092AC08 ,  4C092CD02 ,  4C092CD03 ,  4C092CE01 ,  4C092CF02 ,  4C092CF47 ,  4C092DD24 ,  4C092DD30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板のX線検査方法及びそれに用いるX線検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-356161   出願人：松下電器産業株式会社
• 信号減衰補正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-214409   出願人：横河電機株式会社
• X線検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-090055   出願人：株式会社島津製作所