基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245382
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066614
特許番号：特許第3483809号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の基板を重ね合わせ、互いに対向する一対の定盤で両基板を挟んで両基板を貼り合わせる基板の貼り合わせ方法において、平板の中央部に凹部を形成してなる一対のマスクを、これら定盤にそれぞれ凹部が基板に対向するように配置し、上記マスクが、凹部以外の部分に貫通孔を形成されているとともに、凹部とマスクの側面との間を通気させるリーク溝が設けられており、上記リーク溝により凹部内を常圧に保ちながら、上記定盤上に設けた基板吸着孔から真空吸引することにより上記マスクの貫通孔を介して基板を定盤に吸着させて固定することを特徴とする基板の貼り合わせ方法。

IPC (3件)：