特許
J-GLOBAL ID：201103053242498631
マイクロメカニック構造部品の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548737
特許番号：特許第4460771号
出願日： 1999年05月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一部が中空(8)上に配置されている膜層(7)を有するマイクロメカニック構造部品の製造方法において、
第1工程で基板(1)の表面上に犠牲層(2)を被覆し、
第2工程でこの犠牲層(2)の上に、犠牲層(2)を選択的にエッチングできる材料からなる補助層(3)を被覆し、
第3工程でこの補助層(3)中に開口(4)を製造し、
第4工程でこの開口(4)を使用して犠牲層中に溝(5)をエッチングし、
第5工程で平坦化層(6)を被覆し、開口(4)を閉鎖し、
第6工程で膜層(7)を被覆し、
第7工程で膜層(7)の縁部領域にエッチング開口(9)を製造し、かつ
第8工程でこのエッチング開口(9)および第4工程で製造した溝(5)を使用して、製造すべき中空(8)の領域内の犠牲層(2)、補助層(3)および平坦化層(6)を除去することを特徴とする、マイクロメカニック構造部品の製造方法。
IPC (4件)：
B81C 1/00 ( 200 6.01)
, G01L 9/00 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
B81C 1/00
, G01L 9/00 Z
, H01L 29/84 Z
, H01L 21/302 105 A
