特許
J-GLOBAL ID:201103053251352810

低アルファ放出性はんだバンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  伊藤 英彦 ,  堀井 豊 ,  森下 八郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-583083
特許番号:特許第4397530号
出願日: 1999年09月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 α粒子反応性装置を有する集積回路チップと、 前記集積回路チップに接続するためのPb系のはんだバンプとを含み、 前記Pb系のはんだバンプは、前記集積回路チップの表面上に形成された低アルファPb層と、前記低アルファPb層の上に形成されたPb含有はんだ部分とを含み、前記低アルファPb層は前記Pb含有はんだ部分からのα粒子放出に対して不透過性であり、 前記低アルファPb層が、前記Pb含有はんだ部分のα粒子放出特性の100分の1から1000分の1のα粒子放出特性を示す、装置。
IPC (1件):
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/92 603 B ,  H01L 21/92 602 D
引用特許:
審査官引用 (3件)

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