特許
J-GLOBAL ID：201103053585476757
金属・有機ガススクラバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 宍戸 嘉一
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163436
公開番号（公開出願番号）：特開2000-034566
特許番号：特許第4452345号
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 入口および該入口から間隔を隔てた出口を備えた主本体と、該主本体内に配置された中空管状要素と、中空管状要素に取り付けられるとともに、該中空管状要素から半径方向外方に延びて主本体の内面と接触している複数のベーンであって、入口と出口との間に未反応金属・有機ガス用の曲りくねった通路を設けるために、中空管状要素の長さ方向に沿って延びて相互連通する複数の長手方向チャンネルを形成している複数のベーンと、中空管状要素内に配置される着脱可能なヒータであって、使用時に、中空管状要素およびベーンの温度を上昇させ、主本体の温度を大気温度に維持するヒータとを有することを特徴とする金属・有機ガス蒸着プロセスでの金属・有機ガスの使用後にあらゆる未反応金属・有機ガスから金属成分を除去する装置。
IPC (2件)：
C23C 16/44 ( 200 6.01)
, B01D 53/64 ( 200 6.01)
C23C 16/44 E
, B01D 53/34 136 Z
