特許
J-GLOBAL ID：201103053670714144

ポジティブ型感光性樹脂組成物

発明者：
李 廷 宇

李 廷 宇 について

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兪 龍 植

兪 龍 植 について

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趙 顯 龍

趙 顯 龍 について

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鄭 知 英

鄭 知 英 について

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鄭 斗 瑛

鄭 斗 瑛 について

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李 種 和

李 種 和 について

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鄭 閔 鞠

鄭 閔 鞠 について

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車 明 煥

車 明 煥 について

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田 桓 承

田 桓 承 について


出願人/特許権者：
チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド

チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-294563
公開番号（公開出願番号）：特開2011-138133
出願日： 2010年12月29日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：
【課題】感度および解像度に優れており、パターン形状にも優れる、残余物除去性に優れたポジティブ型感光性樹脂組成物を提供する。また、前記ポジティブ型感光性樹脂組成物を利用して形成された感光性樹脂膜の提供。さらにまた、前記感光性樹脂膜を含む半導体素子の提供。【解決手段】(A)ポリベンゾオキサゾール前駆体、ポリアミド酸またはこれらの組み合わせからなる群より選択される樹脂前駆体、(B)ジフェニルエーテル、シクロヘキシルピロリドン、またはこれらの組み合わせを含む溶解調節剤、(C)酸発生剤、(D)シラン系化合物、および(E)溶媒を含むポジティブ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)ポリベンゾオキサゾール前駆体、ポリアミド酸またはこれらの組み合わせからなる群より選択される樹脂前駆体、 (B)ジフェニルエーテル、シクロヘキシルピロリドン、またはこれらの組み合わせを含む溶解調節剤、 (C)酸発生剤、 (D)シラン系化合物、および (E)溶媒 を含み、 前記ポリベンゾオキサゾール前駆体が下記化学式1で示される反復単位を含むかまたは下記化学式1および化学式2で示される反復単位を全て含み、少なくとも一方の末端部分に熱重合性官能基を有するものであり、前記ポリアミド酸が下記化学式50および化学式51で示される反復単位を含む、ポジティブ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  C08G 73/06 ,  C09K 3/00
FI (4件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  C08G73/06 ,  C09K3/00 K
Fターム (35件)：
2H125AC00 ,  2H125AE12P ,  2H125AF05P ,  2H125AF26P ,  2H125AF46P ,  2H125AM75P ,  2H125AM76P ,  2H125AM90P ,  2H125AM92P ,  2H125AM99P ,  2H125AN22P ,  2H125AN31P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125AN78P ,  2H125AN83P ,  2H125AN84P ,  2H125CA12 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC21 ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  4J043PA02 ,  4J043PC145 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043UB061 ,  4J043WA09 ,  4J043XA16 ,  4J043ZB47
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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