特許
J-GLOBAL ID：201103054856272830
基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031454
特許番号：特許第4115107号
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、
前記複数個の等価処理部に優先度を設定しておき、
あるロットの投入時に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用し、
作成した複数のスケジュールの終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
IPC (4件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, B08B 3/04 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, B08B 3/04 Z
, G05B 19/418 Z
, H01L 21/304 648 H
