特許
J-GLOBAL ID：201103055020490988
ガラスセラミック基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-051682
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244631
特許番号：特許第3909182号
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、
前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、Al2O3とガラスと有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層し、ついで前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体と前記拘束グリーンシートとの積層体のコーナー部分を、該積層体の隣接する2辺の各辺上の、2辺が交差する前記コーナー部分の角の頂点からの距離が前記積層体の短辺の長さの2.5%〜35%の範囲である点同士を結んだ線で切断加工する工程と、
前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、
前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、
前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記拘束グリーンシート中に含有されるガラスの軟化点が、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であって、これにより前記拘束シートを、焼成後に前記ガラスセラミック基板に剥がれることなく付着させることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (2件)：
H05K 3/46 ( 200 6.01)
, H01L 23/15 ( 200 6.01)
H05K 3/46 H
, H01L 23/14 C
