特許
J-GLOBAL ID：201103055278584227
有機EL素子製造に用いる真空蒸着用金属マスク保持治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
乗松 恭三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-255232
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068453
特許番号：特許第4651239号
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機EL素子製造における真空蒸着工程で用いる真空蒸着用金属マスク保持治具であって、蒸着範囲を規制するウインドウを備えたベースプレートと、多数のスリットを平行に配列した有効部とその両端の保持部とを備えた略矩形状の真空蒸着用金属マスクを、前記有効部を前記ウインドウの上に位置させ且つ前記スリットの長手方向に引っ張った状態で前記ベースプレートの上に位置させるマスク引張保持手段と、前記ベースプレート及び金属マスクの上に配置した基板を前記ベースプレートに固定する基板クランプ手段とを有し、前記マスク引張保持手段が、前記金属マスクの一端の保持部の全幅を前記ベースプレートに押し付けて固定する固定側マスククランプと、前記ウインドウに関して前記固定側マスククランプとは反対側に配置され、前記固定側マスククランプから離れる方向及び近づく方向に移動可能なスライダと、前記ベースプレートに固定され、前記スライダを移動可能に保持したガイドロッドと、前記金属マスクの他端の保持部の全幅を前記スライダに押し付けて固定する移動側マスククランプと、前記固定側マスククランプと移動側マスククランプで保持された金属マスクに所望の張力を付与するよう前記スライダを前記固定側マスククランプから離れる方向に移動させる移動手段とを有し、該移動手段が、前記ベースプレートと前記スライダの間に配置され、該スライダに、前記固定側マスククランプから離れる方向のばね力を作用させる圧縮コイルバネを備えていることを特徴とする真空蒸着用金属マスク保持治具。
IPC (6件)：
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, C23C 14/04 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, G09F 9/30 ( 200 6.01)
, H01L 27/32 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
H05B 33/10
, C23C 14/04 A
, G09F 9/00 342 Z
, G09F 9/30 365 Z
, H05B 33/14 A
