特許
J-GLOBAL ID:201103055539262389

導電性ボールの供給装置および供給方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-207150
公開番号(公開出願番号):特開2001-035875
特許番号:特許第3543686号
出願日: 1999年07月22日
公開日(公表日): 2001年02月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置であって、上面に1個の導電性ボールを収容可能な凹部と凹部に設けた貫通孔からなるボール保持部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能な開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器と、前記開口部を前記配列部材で塞いだ状態でこの容器を配列部材の上面に沿って相対的に移動させる移動手段と、前記容器と一体的に配列部材に対して相対的に移動しながら配列部材の上方からボール保持部へ向かって光を照射する発光手段と、前記貫通孔を貫通した発光手段の光を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールの供給装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 ,  H01L 23/12
FI (2件):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 23/12 L
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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