基板位置決め装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：阿部龍吉 , 蛭川昌信 , 内田亘彦 , 菅井英雄 , 青木健二 , 韮澤弘 , 米澤明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338184
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156155
特許番号：特許第4297305号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】治具に設けられた位置決め部材に基板を突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボットハンドに固定されたベースプレートと、該ベースプレートの各辺に対向する位置に固定された基板把持用のエアシリンダと、各エアシリンダに連結された基板把持部材とを備え、前記エアシリンダには、基板が位置決め部材に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整装置が備えられていることを特徴とする基板位置決め装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ( 200 6.01) , H01L 21/677 ( 200 6.01) , B25J 15/08 ( 200 6.01) , B65G 49/06 ( 200 6.01) , B65G 49/07 ( 200 6.01) , G02B 5/20 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/68 G , H01L 21/68 B , B25J 15/08 W , B65G 49/06 A , B65G 49/07 G , G02B 5/20 101

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭59-073290
特開昭63-300835
パネル素子の搬送用キャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-051947 出願人：松下電器産業株式会社

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