三次元形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加古進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047541
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235313
特許番号：特許第3798212号
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光を用いて、物体の三次元形状を測定する三次元形状測定装置において、光軸に対して角度を持った二次元光源と、前記二次元光源を前記物体上で結像するように投影する光学系と、前記光学系に挿入した走査手段と、前記測定物体からの、前記二次元光源像の反射光又は透過光の強度を検出するセンサと、前記走査手段により、前記二次元光源像を複数形成する手段とを備え、検出した複数の二次元光源像の、反射光又は透過光の検出データにより、光軸方向をz軸とし、光軸に対して垂直な方向の座標をx、yとしたとき、前記検出した複数の二次元光源像から、全てのx、y座標について、光の強度が最大となるz軸座標を求めて、三次元形状を形成することを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (1件)：