特許
J-GLOBAL ID：201103056704453930
屈折率分布の測定装置及び屈折率分布の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石橋 佳之夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061119
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258292
特許番号：特許第3948852号
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検物を透過した可干渉光によって干渉縞像を結像させる結像光学系と、
上記干渉縞の結像位置に設けられた画像検出器と、
上記画像検出器上の干渉縞像から被検物の1測定断面について透過波面を求め被検物の上記1測定断面について屈折率の分布を算出する演算手段と、
上記結像光学系に入射する第2の光源と、
上記第2の光源から射出する光束を平行光束とする光学素子と、
上記第2の光源と上記結像素子との間に設けられ、スリットによる所定の標準パターンを有し、上記光学素子からの平行光束が照射される基準板と、を備え、
上記演算手段はさらに、上記画像検出器の測定方向をx’として上記透過波面の第一の透過波面W(x’,y)を求め、上記スリットを透過した光束が上記画像検出器上に形成する基準パターンの像の長さから倍率Mを求め、倍率Mからx=Mx’により第二の透過波面W(x,y)を算出し、この第二の透過波面W(x,y)を用いて屈折率の分布N(x,y)を求めることを特徴とする屈折率の測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
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屈折率分布の測定方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-281281
出願人：株式会社リコー
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特開昭63-275909
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特開昭63-275909
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