特許
J-GLOBAL ID：201103057445585217

ウエハ加工用装置

発明者：
エルガー,ヨールゲン

エルガー,ヨールゲン について


出願人/特許権者：
インフィネオン テクノロジーズ アクチエンゲゼルシャフト

インフィネオン テクノロジーズ アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (5件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所 ,  原 謙三 ,  木島 隆一 ,  圓谷 徹 ,  金子 一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-535214
特許番号：特許第3949452号
出願日： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の製造ユニットおよび測定ユニットならびにウエハの搬送のための搬送システムを有するウエハ加工用装置であって、 上記搬送システムは、該搬送システムの構成要素として、ウエハをコンテナ(6)に載せて搬送する複数のコンベア(5a)を有するコンベアシステム(5)を備え、 さらに、上記搬送システムの利用状況を検出する検出手段としてのセンサおよび上記ウエハの加工順序を保存する保持手段とを備えた搬送制御ユニット(9)と、 それぞれ、上記搬送制御ユニット(9)に接続され、上記搬送システムを制御するためのコンベア技術制御装置(10)と製造ガイドシステム(8)とを備え、 上記コンベア技術制御装置(10)は、上記搬送システムのコンベアシステム(5)に接続されており、 上記製造ガイドシステム(8)には、ウエハ加工のための製造命令および作業計画を生成する中央製造計画および制御システム(7)と、製造ユニット(2)と測定ユニット(3)とを有する加工場所(1)とが接続されており、 上記製造ガイドシステム(8)は、上記中央製造計画および制御システム(7)から上記製造命令および作業計画を読み込み、当該読込み情報に基づいて、上記各製造ユニット(2)と測定ユニット(3)に、ウエハ加工に関する指示を入力する一方、上記各製造ユニット(2)と測定ユニット(3)から各ウエハの現在の加工状態および製造ユニット(2)および測定ユニット(3)の現在の利用状況を読込むように構成されており、 上記製造ガイドシステム(8)は、さらに、読込んだ上記情報に基づいて、個々のウエハまたは上記個々のウエハを格納するロットの加工のための優先順位を決定し、上記ロットに当該優先順位を割り当て、当該優先順位に基づいて、上記ウエハの加工順序を決定し、 上記搬送制御ユニット(9)は、上記センサにより検出された上記搬送システムの利用状況及び上記製造ガイドシステム(8)から読み込んだ各ウエハの加工状態、上記製造ユニット(2)および測定ユニット(3)の現在の利用状況および上記ウエハの加工順序を連続して登録し、当該情報に基づいて、上記ウエハの搬送の進行を制御する制御命令を生成し、該制御命令を、上記コンベアシステム(5)に接続された上記コンベア技術制御装置(10)に読み込ませることにより、上記ウエハの搬送の進行を制御することを特徴とするウエハ加工用装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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