特許

J-GLOBAL ID：200903056444754738

基板処理装置及び搬送スケジューリング方法

発明者： 大川内 義徳 ,  下野 仁司
出願人/特許権者： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330524
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163087
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 各処理モジュールでの搬送待ち時間を減少させて、処理能力を向上させた基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板を処理する処理モジュールと、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、モジュール間で基板を搬送する搬送装置と、基板の供給から収納に至る基板搬送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能、及び前記搬送経路の条件を参照して基板の搬送先を決定する搬送スケジューラを有する制御装置とを具備した基板処理装置において、前記搬送スケジューラは、前記搬送装置が1枚の基板も保持していない場合、且つ搬送可能な基板が複数存在するときに、前記制御装置で処理開始前に予め作成された前記搬送経路の条件を参照して、基板を供給するカセットモジュールに最も近い搬送順序の処理モジュール内の基板を最優先に、次に搬送する基板として決定する構成にした。

請求項（抜粋）：

基板を処理する複数個の処理モジュールと、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、前記カセットモジュールと前記処理モジュール間で基板を搬送する搬送装置と、装置全体を制御する機能、基板の供給から収納に至る基板搬送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能、及び前記搬送経路の条件を参照して基板の搬送先を決定する搬送スケジューラを有する制御装置とを具備した基板処理装置において、前記搬送スケジューラは、前記搬送装置が基板も保持していない場合、且つ搬送可能な基板が複数存在するときに、前記制御装置で処理開始前に予め作成された前記搬送経路の条件を参照して、基板を供給するカセットモジュールに最も近い処理モジュール内の基板を、次に搬送する基板として決定することを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 43/08 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 43/08 A ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 半導体製造装置に於ける基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-265513   出願人：国際電気株式会社
• 基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-105279   出願人：株式会社ニコン
• 基板処理装置の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-303459   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平3-211749
  
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-268054   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開昭62-249409