高い輝度と大きいビーム電流の間で切換可能な粒子源を含む粒子光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-505039
特許番号：特許第4647866号
出願日： 2000年06月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子エミッタ、電子レンズ、及び前記電子を通過させる一のアパーチャを有する陽極を連続して含み、加速された電子ビームを発生させる放射源組立体と、ビーム制限ダイアフラムとを有する電子光学装置であって、上記放射源組立体に、上記電子レンズと上記陽極との間に配置された少なくとも1つの更なる電子レンズが設けられ、上記ビーム制限ダイアフラムは上記更なる電子レンズの作る面又は下流側に配置され、当該装置には、上記電子レンズ及び上記更なる電子レンズに対して互いに独立してエネルギーを与えるエネルギー付与手段が設けられ、かつ上記エネルギー付与手段は、上記電子ビームの大ビーム電流と高輝度とを切り換えるため、上記電子ビームが平行となる位置を調節する、ことを特徴とする電子光学装置。

IPC (3件)：