特許
J-GLOBAL ID：201103057851423465
合成石英ガラス光学部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-530054
特許番号：特許第4193358号
出願日： 1999年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 紫外線波長域のレーザ光を照射して使用される合成石英ガラス光学部材の製造方法であって、水素分子の含有量が1×1017分子/cm3 未満である合成石英ガラスを、水素ガスを含有する2〜30気圧の雰囲気下にて300〜600°Cの温度で処理して、水素分子の含有量が1×1017分子/cm3 以上であり、OH基濃度が200ppm以下であり、かつ実質的に還元型欠陥を含有しない合成石英ガラス光学部材を得る工程を含む合成石英ガラス光学部材の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C03B 20/00 E
, C03B 20/00 F
