特許
J-GLOBAL ID:201103058109031293
ICハンドラー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 大橋 康史
, 篠崎 正海
, 大平 和由
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-404491
公開番号(公開出願番号):特開2002-189057
特許番号:特許第4349743号
出願日: 2000年12月20日
公開日(公表日): 2002年07月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 水平に回転可能に支持された円盤と、
円盤の上面に配設された2台の制御駆動可能なモーターと、
円盤を貫通して下方に延伸し、前記2台のモーターのそれぞれにより駆動される円盤の回転中心に対して対称位置に配設された2本の駆動軸と、
それぞれ駆動力変換機構を介して前記2本の駆動軸に係合され、駆動軸の回転により上下運動せしめられる2つの垂下杆と、
各垂下杆の下端部に取り付けられるクランパーと、
クランパーの下端に取り付けられた真空吸着パッドと、
前記円盤を第1の回転方向と該第1の回転方向とは逆の第2の回転方向に回転可能な円盤駆動用モーターを具備し、
前記円盤を円盤駆動用モーターによって第1の角度位置で所定時間停止後に第1の角度位置から180度の角度だけずれた第2の角度位置へ第1の回転方向で回転移動せしめ、第2の角度位置で所定時間停止後に第1の角度位置に第2の回転方向で回転移動せしめ、
第1の角度位置で停止中に、一方の駆動軸に係合されるクランパーが、吸着、載置、又は、排出の第1の作業をおこない、他方の駆動軸に係合されるクランパーが、吸着、又は、クランプの第2の作業をおこない、
第2の角度位置で停止中に、前記一方の駆動軸に係合されるクランパーが前記第2の作業をおこない、前記他方の駆動軸に係合されるクランパーが前記第1の作業をおこなうICハンドラーにおいて、
前記円盤が、第1又は第2の角度位置で停止後回転移動するときには、クランパーが持ち上げるICデバイスの個数及び配列で定まる許容回転角度に至る前に、前記垂下杆が必要上昇寸法を超えるように、かつ、前記垂下杆の上昇途中に前記円盤が回転を始めるように、前記2台のモーター及び前記円盤駆動用モーターを制御することを特徴とするICハンドラー。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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