特許
J-GLOBAL ID：201103058146800981

集積化ガス制御装置

発明者：
福島 良知

福島 良知 について


出願人/特許権者：
株式会社キッツエスシーティー

株式会社キッツエスシーティー について


代理人 (1件)： 小林 哲男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233756
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048299
特許番号：特許第4156184号
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1のガス流路および第2のガス流路を底面側に開放した円柱状のボディ有する複数種のガス制御機器と、両側に突出部を有し、これら突出部間に溝状の凹所を有する基台と、前記基台の凹所における中間部に配置され、両側部を頂部側へ開放したガス流路を有する中間流路ブロックと、前記基台の凹所における両側端部に配置され、一側部を前記の隣り合う中間流路ブロック側寄り位置で頂部側へ開放したガス流路を有する終端流路ブロックと、前記基台の両側突出部に取外し可能に取付けられ、前記各ガス制御機器の第1のガス流路および第2のガス流路における開放部を前記の隣り合う流路ブロックのガス流路における隣り合う開放部に連通し得る位置決め状態で、前記各ガス制御機器をガス制御機器取付け手段で取付け、このガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記ガス制御機器のボディを挿入することができる円筒状部、この円筒状部の下部外周に一体的に設けられ、基台の両側突出部上に重ねられるフランジ部を有する支持台を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段が、前記支持台の円筒状部における上部周囲に形成されたねじ部と、前記ガス制御機器のボディの外周に設けられ、前記ボディを前記支持台の円筒状部に挿入した状態で、前記ねじ部に螺着して前記ボディを流路ブロック側へ加圧する筒状接続部材とを備え、前記各ガス制御機器の各ガス流路と前記各流路ブロックのガス流路とを連通させた状態で両者間をシールするシール手段とを備えたことを特徴とする集積化ガス制御装置。
IPC (3件)：
F17D 1/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  F16K 27/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
F17D 1/04 ,  H01L 21/205 ,  F16K 27/00 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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