特許
J-GLOBAL ID：201103058366587898
ウエハ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096853
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294611
特許番号：特許第3350477号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 回路の配線情報に基づいて回路パターンが各チップ毎に形成されたウエハの被検査面の画像を該各チップ毎に取り込み、該被検査面上に存在する欠陥の位置及び大きさを表す座標値データを該各チップ毎に生成して出力するウエハ検査手段と、前記各座標値データに基づいて前記各欠陥を表す図形を前記各チップ毎に作成して該図形に対応した画像データを生成する画像データ生成手段と、前記画像データを入力し、該画像データに対応した第1の画像における前記各欠陥を表す図形と前記配線情報に基づいた回路パターンを表す第2の画像における回路パターン図形との重なりの状態を解析して該重なり状態に関する解析データを出力する解析手段と、前記解析データに基づいて前記重なり状態から前記各欠陥の種類を分類する分類手段とを、備えたことを特徴とするウエハ検査装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 A
, H01L 21/66 J
