滅菌及びドライ洗浄装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359858
公開番号（公開出願番号）：特開2003-159570
特許番号：特許第3495356号
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物が収容される処理室と、その処理室内に酸素、あるいは、酸素を含む混合気体を放電励起し、プラズマを発生させるプラズマ発生装置と、プラズマが発生する前記処理室内へ、ガス状の水分子を噴射する水噴射装置と、紫外線を照射する紫外線照射装置とを備えていることを特徴とする滅菌及びドライ洗浄装置。

IPC (6件)：