ダイシングマシン

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131714
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329683
特許番号：特許第3956643号
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワークを加工する加工部と、該ワークの表面を撮像する撮像手段とを有するダイシングマシンにおいて、前記加工部と前記撮像手段との間に、切削水によるミストや水はねを防止する遮蔽板と、前記切削水によるミストが前記遮蔽板の下部から前記撮像手段側に浸入するのを防止するためのエアーのカーテンを吹き出すエアーカーテンノズルとを設け、前記遮蔽板は前記加工部を遮蔽する遮蔽位置と前記加工部を開放する退避位置との間を、前記エアーカーテンノズルをガイドレールにして進退可能に構成されていることを特徴とするダイシングマシン。

IPC (1件)：