線膨張係数測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：曾我道照 , 曾我道治 , 池谷豊 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 長谷正久 , 福井宏司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-296129
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107318
特許番号：特許第3970510号
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ゼロ膨張ガラスから構成された基台と、上記基台に設けられ、測定すべき被測定部材を支持するためのゼロ膨張ガラスから構成された支持手段と、上記被測定部材に対して測定すべき方向に設けられたゼロ膨張ガラスから構成された測定板と、上記基台に設けられ、上記測定板の変位を測定する非接触型の変位計と、上記被測定部材を加熱する加熱手段と、上記被測定部材の温度を測定する温度測定手段と、上記被測定部材の温度変化に伴う伸びによる上記測定板の変位から、上記被測定部材の線膨張係数を演算する計測演算手段とを備え、加熱手段が、上記被測定部材を内部に収納する筒状に構成されたシートヒーターと、上記シートヒーターを内部に収納するとともに、当該内部が真空状態になるように構成された真空チャンバとを備えていることを特徴とする線膨張係数測定装置。

IPC (1件)：

G01N 25/16 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01N 25/16 E

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平1-244350
膨張測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-353856 出願人：株式会社オハラ
特開平3-154856

全件表示

審査官引用 (11件)

特開平1-244350
特開平1-244350
膨張測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-353856 出願人：株式会社オハラ

全件表示

前のページに戻る