特許
J-GLOBAL ID：201103060019527006
表面処理装置および表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343477
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151948
特許番号：特許第4003441号
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被処理板を支持する装置本体と、
前記装置本体に対し移動可能に設けられた走査ヘッドと、
前記走査ヘッドを前記装置本体に対し移動させる駆動手段と、
前記走査ヘッドに形成された洗浄液流出口より前記被処理板の表面と前記走査ヘッドの先端部との隙間に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記走査ヘッドに形成されたガス流出口より前記先端部付近に界面活性剤を含む界面活性ガスを供給する界面活性ガス供給手段と、
前記ガス流出口より供給された界面活性ガスを前記走査ヘッドに形成されたガス流入口より吸入して排出する排気手段とを備え、
前記被処理板の表面に前記走査ヘッドの先端部を近接させた状態で、前記走査ヘッドを前記被処理板に沿って走査しつつ、前記表面と前記先端部との隙間に前記洗浄液流出口より洗浄液を供給して前記表面を洗浄処理し、
前記走査ヘッドの走査方向後方側に形成された前記洗浄液のメニスカス付近に前記ガス流出口より前記界面活性ガスを供給し、前記ガス流入口より前記界面活性ガスを吸入して排出しつつ、前記駆動手段によって前記走査ヘッドを前記被処理板に沿って走査することにより、前記メニスカスを前記表面に沿って移動させるとともに、前記メニスカスに沿って前記界面活性ガスの気流を生じさせ、これにより、前記表面を乾燥処理するよう作動し、
前記走査ヘッドを前記被処理板に沿って1回走査する間に、前記洗浄処理と前記乾燥処理とを一度に行うよう構成されていることを特徴とする表面処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
H01L 21/304 651 L
, H01L 21/304 643 C
, H01L 21/306 J
