特許
J-GLOBAL ID：201103060157041955
欠陥修正装置および欠陥修正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 吉田 博由
, 伊藤 英彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328828
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131527
特許番号：特許第3905299号
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上のパターン不良あるいは異物混入などの欠陥を修正する欠陥修正装置であって、
その先端部で前記欠陥を除去するための針と、
前記針を所定の範囲で上下動可能に保持するスライダと、
前記針が前記スライダに対して相対移動した距離を測定する測定手段と、
前記スライダを下降させて前記針の先端を前記基板の表面に接触させた後、前記測定手段の測定結果に基づいて前記スライダを上昇させ、前記基板の表面に対して前記針の先端を所望の高さに設定するスライダ駆動手段と、
前記設定手段によって先端の高さが設定された前記針を前記欠陥に対して相対移動させて前記欠陥を除去する移動手段とを備えたことを特徴とする、欠陥修正装置。
IPC (6件)：
G02B 5/20 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, H01J 9/50 ( 200 6.01)
, H01J 11/02 ( 200 6.01)
, H01J 17/04 ( 200 6.01)
G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G09F 9/00 352
, H01J 9/50 A
, H01J 11/02 B
, H01J 17/04
