特許
J-GLOBAL ID：201103060452533835
プラズマ装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040576
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246372
特許番号：特許第4680400号
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 開口部を有する容器と、この容器の開口部外周の端面に支持され前記開口部を閉塞する誘電体部材と、この誘電体部材を介して前記開口部から前記容器の内部へ電磁界を供給するアンテナと、少なくとも前記容器の端面と前記アンテナとの間に延在して前記誘電体部材の外周を覆い前記電磁界を遮蔽するシールド材とを備えたプラズマ装置において、
前記容器の端面と前記アンテナとの間隔をD、前記容器の端面と、前記アンテナと、前記シールド材とにより囲まれた領域内における相対空気密度をδ、前記領域内における前記電磁界の波長をλg とすると、前記容器の内面から前記シールド材の内面までの距離L1 は、
(N/2)・λg -ΔL < L1 < (N/2)・λg +ΔL
ただし、L1 ≧0
ΔL = (θ/360)・λg
θ = sin-1(1/Γ)
Γ = 1+[0.328/(δ・D)1/2]
(Nは0以上の整数)
を満たしていることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
H01L 21/302 101 D
, H05H 1/46 B
