特許

J-GLOBAL ID：201103061067634074

荷電粒子線装置

発明者： 吉 澤 明
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255525
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076661
特許番号：特許第3850182号
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、 前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、 各試料ホルダに対応させて、ホルダ形状データを格納するホルダ形状データ格納手段と、 前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応するホルダ形状データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホルダ形状を表示させる手段 を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/252 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/28 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 試料台および分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027566   出願人：キヤノン株式会社
• 電子線描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-354137   出願人：株式会社日立製作所
• 特表平3-501307