特許
J-GLOBAL ID：201103061187152146

設備の排気装置

発明者：
福森 幹太

福森 幹太 について

, 
森永 新一郎

森永 新一郎 について


出願人/特許権者：
三機工業株式会社

三機工業株式会社 について


代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164688
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357347
特許番号：特許第3762662号
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数個配置されて生産装置を含む装置にそれぞれ連結された排気ダクトと、 前記各排気ダクトが集合する集合排気ダクトと、 前記集合排気ダクトに設けられた排気ファンとを備えた設備の排気装置において、 前記排気ダクトに設置された流量調整弁と、 前記排気ダクトに装着され、風速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなる風速センサと、 前記風速センサにより検出された風速と前記排気ダクトの断面積の積をとって排気の風量を算出する風量算出手段と、 前記風量が設定風量より多くならないようにフィードバック制御により前記流量調整弁を絞る制御手段と を備え、 前記制御手段には、 前記風量算出手段により算出された各排気ダクトの排気の風量を総和して前記集合排気ダクトでの排気の総合風量を算出する総合風量算出手段と、 前記排気ファンに設けられ、前記排気ファンの送風出力を変更する風量変更手段と、 前記各排気ダクトの設定風量を総和した前記排気ファンの設定送風出力と前記総合風量とを比較し、前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とが一致しない場合には、前記流量調整弁を絞める方向に調整する命令を出して、前記流量調整弁を絞めた後、再び前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とを比較して、前記排気ファンの送風出力を前記風量変更手段に与える風量制御手段と ことを特徴とする設備の排気装置。
IPC (4件)：
F24F 7/06 ( 200 6.01) ,  F24F 11/02 ( 200 6.01) ,  G01P 5/12 ( 200 6.01) ,  G01F 1/684 ( 200 6.01)
FI (4件)：
F24F 7/06 C ,  F24F 11/02 Z ,  G01P 5/12 C ,  G01F 1/68 101 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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