特許
J-GLOBAL ID：201103061248670757

レーザ装置並びにこのレーザ装置を用いた光照射装置および露光方法

発明者：
大槻 朋子

大槻 朋子 について

, 
大和 壮一

大和 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063256
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200747
特許番号：特許第4232130号
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のパルス状のレーザ光を発生させるレーザ光発生部と、 前記レーザ光発生部から発生させるレーザ光の発振波長を制御する発振波長制御手段と、 前記レーザ光発生部から入射される単一波長のパルス光を複数に分岐する光分岐手段と、 前記光分岐手段から分岐されて出力される複数の分岐光をそれぞれ複数回増幅する複数のファイバー光増幅器を有する複数の光増幅器と、 前記複数の光増幅器により増幅された分岐光を非線形光学結晶を用いて波長変換する波長変換部とを備え、 前記レーザ光発生部は、パルス光を発生する光源と、当該パルス光の一部を切り出してパルス幅を狭める光変調器とを有して、パルス幅が狭められたパルス光が前記光分岐手段に入射され、 前記光分岐手段は、前記レーザ光発生部から入射された前記パルス光を複数に分岐するとともに、分岐された各パルス光が互いに時間的に重ならない状態の分岐光として出射し、 空間的コヒーレンスが低い単一波長の紫外光を発生することを特徴とするレーザ装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G02F 1/37 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01S 3/06 ( 200 6.01) ,  H01S 3/10 ( 200 6.01) ,  H01S 3/108 ( 200 6.01)
FI (9件)：
H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 527 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/108
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • レーザーシステム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262247   出願人：金門電気株式会社, 日新電機株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所
  • 半導体露光装置、投影露光装置及び回路パターン製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-320557   出願人：ソニー株式会社, 株式会社ニコン
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-270708   出願人：日本電気株式会社
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審査官引用 (4件)
  • レーザーシステム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-262247   出願人：金門電気株式会社, 日新電機株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所
  • 半導体露光装置、投影露光装置及び回路パターン製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-320557   出願人：ソニー株式会社, 株式会社ニコン
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-270708   出願人：日本電気株式会社
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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