カタディオプトリック光学系およびそれを有する露光装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 西島孝喜 , 須田洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215160
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047114
特許番号：特許第4693947号
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】物体側カタディオプトリック系、中間像および屈折レンズ系を備え、第1の材料で形成されたレンズと第2の材料で形成されたレンズとを含む、248nmまたは193nmの光と共に使用されるように設計されたプロジェクション露光レンズであって、4枚以下のレンズが前記第2の材料で形成され、前記屈折レンズ系において、前記第2の材料で形成されたすべてのレンズが、集束光線内の像平面の隣に配置され、前記第1の材料が石英ガラスであり、前記第2の材料がフッ化カルシウムであることを特徴とするプロジェクション露光レンズ。

IPC (3件)：