特許

J-GLOBAL ID：201103061440658019

アクティブマトリクス基板とその製造方法及び電気光学装置並びに電子機器

発明者： 村井 一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (5件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  松冨 豊 ,  実広 信哉 ,  東野 博文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368362
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183992
特許番号：特許第4016558号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上に、互いに交差して設けられた複数の走査線および複数のデータ線と、該複数の走査線および複数のデータ線の少なくとも一方に信号を供給する外部回路接続端子と、走査線駆動回路と、データ線駆動回路と、前記走査線と前記データ線との交差に対応してマトリクス状に配置された複数の画素電極、該画素電極のスイッチング素子である複数の薄膜トランジスタ、および複数の蓄積容量とを有するアクティブマトリクス基板であって、 前記走査線駆動回路および前記データ線駆動回路のそれぞれと前記外部回路接続端子とを接続する配線に、前記薄膜トランジスタのゲート絶縁膜と同層の誘電体層を、前記薄膜トランジスタの半導体層と同層の半導体層と、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同層の容量線と、で挟持した薄膜容量素子を設けてなり、 前記薄膜容量素子を構成する前記容量線がコンタクトホールを介して前記配線に電気的に接続されるとともに、前記薄膜容量素子を構成する前記半導体層がグランド電位に固定されたことを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (5件)：

G09F 9/00 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1368 ( 200 6.01) ,  G09G 3/20 ( 200 6.01) ,  G09G 3/36 ( 200 6.01) ,  H01L 29/786 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G09F 9/00 338 ,  G02F 1/136 ,  G09G 3/20 611 C ,  G09G 3/36 ,  H01L 29/78 623 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• アクティブマトリクス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-345388   出願人：シャープ株式会社
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-268929   出願人：シャープ株式会社

審査官引用 (2件)

• アクティブマトリクス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-345388   出願人：シャープ株式会社
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-268929   出願人：シャープ株式会社