特許

J-GLOBAL ID：201103061523408448

荷電粒子線装置

発明者： 赤津 昌弘 ,  佐藤 貢
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-298979
公開番号（公開出願番号）：特開2003-109530
特許番号：特許第3767443号
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を収束して試料上で走査する偏向手段を備えた荷電粒子光学系と、前記荷電粒子源と偏向手段との間に配置され、試料に照射する荷電粒子線の収束角を制限する第1の絞りと、当該荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段とを備え、前記二次荷電粒子検出手段の信号により試料像を取得する荷電粒子線装置において、 前記第1の絞りと前記偏向手段との間に配置される第2の絞りと、 前記第1と第2の絞りの間に配置され、軽元素材料で構成される筒状の部材を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/09 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  H01J 37/244 ( 200 6.01) ,  H01J 37/252 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01J 37/09 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-050634   出願人：株式会社トプコン
• 電子顕微鏡の絞り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-008082   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開昭58-078356
  

審査官引用 (3件)

• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-050634   出願人：株式会社トプコン
• 電子顕微鏡の絞り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-008082   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開昭58-078356