特許

J-GLOBAL ID：201103061581539170

弗化物中の酸素成分・炭素成分の低減方法

発明者： 菊山 裕久 ,  矢崎 洋史 ,  里永 知彦
出願人/特許権者： ステラケミファ株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-032740
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241196
特許番号：特許第4676622号
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フッ素ガスの濃度が5-50%であるガスに、弗化カルシウム、弗化バリウム、弗化イッテルビウム、弗化セリウムから選ばれる1種以上であって、粉状、顆粒状、粒状である弗化物を室温〜350°Cで接触させてミキシングするフッ素ガス処理を行うことを特徴とする弗化物中の酸素成分・炭素成分の低減方法。

IPC (4件)：

C30B 29/12 ( 200 6.01) ,  C01B 9/08 ( 200 6.01) ,  C30B 33/00 ( 200 6.01) ,  G02B 1/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C30B 29/12 ,  C01B 9/08 ,  C30B 33/00 ,  G02B 1/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フッ化物結晶の熱処理方法、光学部品の作製方法及び光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-088096   出願人：キヤノン株式会社
• フッ化カルシウム単結晶の熱処理装置及び熱処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-026743   出願人：株式会社ニコン