特許
J-GLOBAL ID：201103061759429659
グロー放電分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266675
特許番号：特許第3934815号
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】中央に孔を有する円盤部と前記孔と同心円状になるように前記円盤部の一方に連設された円筒部とを有する陽極と、この陽極の円筒部より大径の貫通孔が形成されて前記陽極とは電気的に絶縁された陰極とを、前記陽極の円筒部が前記陰極の大径貫通孔内に同心円状に位置して両者間に隙間が形成され、かつ、前記陽極の円筒部の開放端部が陰極の端面より凹んだ状態で配置してなるグロー放電管を、内部に貫通孔、排気系統及び不活性ガス導入路が形成され、かつ、前記貫通孔の一方の開放口が分光器方向への光導出用の窓により封止されているランプボディの前記窓を設けた側とは反対側の端面に押圧固定されており、このグロー放電管における前記陰極の大径貫通孔の大気開放側を封止するように前記陽極の円筒部に対向して分析対象試料を配置して該試料と前記陽極の円筒部との間に放電発光部を形成させ、前記排気系統の動作によりランプボディの貫通孔内及び前記放電発光部内を低圧とし、その低圧下で前記試料表面に前記不活性ガス導入路から不活性ガスを供給した状態で試料と陽極との間に高周波電圧または直流電圧を印加してグロー放電を発光させることにより、その放電発光を分析するように構成されているグロー放電分析装置において、前記陽極の円盤部に接触するように通電加熱用ヒータを該陽極の円筒部周りに環状に設けていることを特徴とするグロー放電分析装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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