光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：韮澤弘 , 阿部龍吉 , 蛭川昌信 , 内田亘彦 , 菅井英雄 , 青木健二 , 米澤明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299771
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117010
特許番号：特許第4429431号
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】時間的に発光強度が変化する光源装置と、空間変調パターンと、前記空間変調パターンを試料に投影する投影光学系と、前記空間変調パターンにより変調を受けた前記試料の像を変調像として結像するための結像光学系と、前記試料に対する前記空間変調パターンの相対的な空間位相を制御するための位相制御手段と、前記空間位相がそれぞれ異なる複数の前記変調像を、前記光源装置の発光強度の時間的変化に同期して撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された複数の前記変調像から前記試料の像を形成する画像処理手段と、を有することを特徴とする光学装置。

IPC (2件)：