特許

J-GLOBAL ID：201103062341243865

腐食耐性材料を含む極紫外線放射生成装置

発明者： メツマシェル クリストフ ,  ウェベル アキム
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (2件)： 津軽 進 ,  笛田 秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-517283
公開番号（公開出願番号）：特表2011-527503
出願日： 2009年07月01日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

本発明は、少ない量のスズの汚染物流入を、装置のプラズマ生成部分へ又はそこから供給することが可能である極紫外線放射生成装置を提供するために液体スズに関しての被膜された供給パイプを有する改善された極紫外線放射生成装置に関する。

請求項（抜粋）：

プラズマ生成装置、及び、前記プラズマ生成装置に液体スズを供給するように適合される前記プラズマ生成装置と液体連通をしている供給貯蔵部を有する少なくとも1つのスズ供給システム、を含む極紫外線放射生成装置であって、前記スズ供給システムは、スズの供給に関して少なくとも1つの供給手段を含み、前記供給手段は、少なくとも1つの共有結合性無機固体材料で少なくとも部分的に被膜されている、極紫外線放射生成装置。

IPC (2件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S

Fターム (11件)：

4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB30 ,  4C092AC08 ,  4C092AC09 ,  4C092BD18 ,  4C092BD19 ,  5F146GA21 ,  5F146GC12 ,  5F146GC13 ,  5F146GC14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 極紫外線光源
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-584754   出願人：サイマーインコーポレイテッド
• 電気的に作動するガス放電による極紫外線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-030493   出願人：イクストリーメテクノロジースゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 放射ソース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-345106   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.