放射ソース

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-345106
公開番号（公開出願番号）：特開2007-201438
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】リソグラフィで使用するために、極端紫外放射などの短い波長の放射を発生させる放射ソースを提供する。【解決手段】錫などの液体金属の個々の浴18,20に浸される回転電極14,16が設けられる。電極14,16間で放電を生成し、放射を発生させる。放電の近傍で低圧になるようにポンピングを改善し、ソースの変換効率を改善できるようにするために、電極14,16および/または電極14,16の周囲の金属の遮蔽用のプレートに孔を設ける。電極14,16の孔は、液体金属を攪拌させ、電極14,16と液体金属間の熱および電気接触を改善することによって、電極14,16の冷却を改善する。電気接触の改善は、放電回路の時定数も低下させ、これによってソースの変換効率をさらに改善する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

使用時に電極間で放電が生成されて放射を発生させる複数の電極と、前記電極が領域内に配置され、且つ、領域内でガス圧が低減可能である領域と、前記電極をシールドするように構成された導体プレートとからなり、前記導体プレートは孔を備える、放射ソース。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01J 61/20 , G21K 1/00 , G21K 5/02 , G01N 23/02

FI (6件)：

H01L21/30 531S , G03F7/20 521 , H01J61/20 L , G21K1/00 X , G21K5/02 X , G01N23/02

Fターム (5件)：

2G001AA07 , 2G001CA07 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (6件)

プラズマX線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-171155 出願人：石川島播磨重工業株式会社
特開昭62-143350
特開昭61-114448

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