特許
J-GLOBAL ID：201103062682171773
クリーンルーム構造
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113377
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304322
特許番号：特許第3911904号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 クリーンルームの天井面に、該クリーンルーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを間引きして配設したクリーンルーム構造において、
前記間引きした開口部分に通気性を有する通気部材を配設して前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部材を介して天井裏空間に通気させると共に、
前記クリーンルームの側壁部と前記天井面周縁との突き合わせ部分に丸みをつけるための湾曲部を設けると共に、該湾曲部に通気性をもたせて、前記クリーンルーム内のエアの一部を該湾曲部を介して前記天井裏空間に通気させるようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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