特許
J-GLOBAL ID:201103063113709818

プラズマ解析装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 平岡 憲一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-190217
公開番号(公開出願番号):特開2002-008892
特許番号:特許第3735704号
出願日: 2000年06月23日
公開日(公表日): 2002年01月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 入力手段と演算手段と出力手段とを備え,プラズマを解析する装置において, イオンを粒子とし,電子を流体とみなすハイブリッドコードにより,個々のイオンの運動方程式と電子流体の運動方程式およびマックスウェル方程式とによりプラズマを解析するプラズマ解析手段を保持し,プラズマ塊と,プラズマ塊にイオンと電子流体が照射される系のプラズマ解析をするものであって, 入力されたプラズマの初期条件,境界条件および化学反応条件を保持し, 前記化学反応条件は,与えられた反応率で個々のイオンを追加する,あるいは,別種のイオンに置き換えることにより実現するものであって, 前記演算手段は,プラズマ解析手段およびプラズマの初期条件,境界条件および化学反応条件の変化に対して,プラズマ塊に照射されるイオンとプラズマ塊の外部周辺にあるイオンとの化学反応により生じるイオン,およびこれと相互作用する電子流体の,密度と速度,さらに電磁場の時間変化や空間分布を解析することを特徴とするプラズマ解析装置。
IPC (1件):
H05H 1/00 ( 200 6.01)
FI (1件):
H05H 1/00 A
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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