位置決め装置及びこれを用いた露光装置並びにデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083495
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039305
特許番号：特許第3413122号
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1及び第2方向を含む基準面上を前記基準面に対して傾斜した複数の反射面と共に移動可能な移動体と、前記基準面と交差する方向における前記移動体の位置情報を計測する位置計測器とを備え、前記位置計測器は、前記基準面と交差する方向における前記移動体の位置情報を計測するための計測ビームを、前記傾斜した反射面の一方で反射される計測ビームと他方で反射される計測ビームのいずれかに選択的に切替えることを特徴とする位置決め装置。

IPC (1件)：