特許
J-GLOBAL ID：200903075932343814

干渉計システムおよびそのようなシステムを含むリソグラフィー装置

発明者：
ロープストラ,エリク,ロエロフ

ロープストラ,エリク,ロエロフ について

, 
ストラーイエル,アレグザンダー

ストラーイエル,アレグザンダー について


出願人/特許権者：
エイエスエム リトグラフィー ベスローテン フエンノートシャップ

エイエスエム リトグラフィー ベスローテン フエンノートシャップ について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-529903
公開番号（公開出願番号）：特表2001-510577
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：
【要約】物体(WH)上に配置したXおよび/またはY測定ミラー(R1、R2)と協同する複数のXおよび/またはY測定軸(MAX,1、MAX,2、MAX,3、MAX,4、MAX,5)を有する、複合干渉計システムを記載する。この干渉計システムは、部分的にXY平面で伸び並びにこの物体上に配置したZ測定ミラー(R’3、R’4)、およびZ反射器(164、168)と協同する、少なくとも一つのZ測定軸(MAX,7、MAX,9)も有する。それで、簡単な手段を使って、この干渉計システムでより正確且つ確実な測定ができることを保証する。
請求項（抜粋）：
XYZ座標系のXY平面に平行な平面での物体の位置および変位を、その物体のホルダに配置したXおよびY測定ミラーによって測定するための干渉計システムで、複数の測定ビームを発生し、上記測定ビームをこのXY平面に平行でこれらの測定ミラーへおよびそれらから伸びる複数の測定軸に沿って向けるための手段、並びにこれらの測定ミラーが反射した測定ビームを電気測定信号に変換するための放射線感応性検出器を備え、XおよびY測定軸の数が少なくとも干渉計的に測定すべき物体の運動数に等しいシステムに於いて、この物体のZ位置をこの物体のホルダ上にXY平面に鋭角に配置したZ測定ミラーによって測定するようにもされ、このためにこの干渉計システムがZ測定軸を有し、Z測定ビームを発生し且つ上記測定ビームをこのZ測定ミラー上に向けるための手段、およびこのZ測定ミラーからのZ測定ビームをこの物体のZ位置周りの情報を含む信号に変換するためのZ検出器を備えることを特徴とするシステム。
IPC (3件)：
G01B 9/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G01B 9/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 A
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 多軸測長機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223500   出願人：株式会社ソキア
  • 三次元変位プローブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-093488   出願人：株式会社東京精密
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-126309   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (3件)
  • 多軸測長機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223500   出願人：株式会社ソキア
  • 三次元変位プローブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-093488   出願人：株式会社東京精密
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-126309   出願人：株式会社ニコン

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