特許
J-GLOBAL ID：201103063294034353
金属酸化物強誘電体粒子結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 鈴木 清弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332838
公開番号（公開出願番号）：特開2003-137553
特許番号：特許第3735686号
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ナノサイズの金属酸化物強誘電体粒子結晶を製造する方法において、
金属酸化物強誘電体からなるナノサイズの粒子群をレーザアブレーション法により発生させ、当該粒子群を気相中に分散させる工程と、
前記レーザアブレーション法により発生させた前記粒子群を気相中で分散状態に保持したまま当該粒子群に対して熱処理を施す工程とを含むことを特徴とする、金属酸化物強誘電体粒子結晶の製造方法。
IPC (5件)：
C01G 35/00 ( 200 6.01)
, C01B 13/14 ( 200 6.01)
, C01G 1/02 ( 200 6.01)
, H01L 27/105 ( 200 6.01)
, H01L 21/8246 ( 200 6.01)
C01G 35/00 C
, C01B 13/14 Z
, C01G 1/02
, H01L 27/10 444 C
