特許

J-GLOBAL ID：201103063446222100

圧力検出器

発明者： 中原 剛
出願人/特許権者： 日本精機株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113690
特許番号：特許第3036598号
出願日： 1999年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 気体や液体等の流体の圧力を導入する金属製の圧力導入部に、半導体圧力センサを備える金属製のベース板を配設し、前記圧力導入部と前記ベース板とを溶接することによって接合する圧力検出器であって、前記ベース板に、前記半導体圧力センサが前記圧力を受ける状態で配設される載置部と、前記載置部の周縁に形成され、前記圧力導入部と接合するフランジ部と、前記載置部及び前記フランジ部を繋ぐとともに、前記載置部が前記フランジ部よりも少なくとも一段高くもしくは一段低くなるように形成され、前記載置部及び前記フランジ部よりも薄肉の応力吸収部である中継部とを備え、前記中継部から所定距離隔てた位置で、前記フランジ部と前記圧力導入部との各対向面の少なくとも一方の対向面に突起を設け、前記ベース板と前記圧力導入部とを溶接によって接合してなることを特徴とする圧力検出器。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-032959   出願人：松下電工株式会社
• 半導体圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-025446   出願人：三菱電機株式会社